| 专利名称 | 一种低通量微阵列生物芯片的制备装置及其制作方法 | 申请号 | CN200510027903.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1719257 | 公开（授权）日 | 2006.01.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 金庆辉;许宝建;赵建龙;杨梦苏;李贻昆;何志明 | 主分类号 | G01N35/00(2006.01) | IPC主分类号 | G01N35/00(2006.01);G01N37/00(2006.01);C12Q1/00(2006.01) | 专利有效期 | 一种低通量微阵列生物芯片的制备装置及其制作方法 至一种低通量微阵列生物芯片的制备装置及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种低通量微阵列生物芯片的制备 装置，所述的装置是由硅基微喷头阵列芯片、PDMS弹性薄膜 和弹性环、SU－8基的挤压头阵列、钕铁硼磁致驱动器和样品 载波片构成的；其中PDMS弹性薄膜与硅基微喷头阵列芯片采 用紫外胶实现粘结和微通道密封，SU－8基的挤压头阵列与微 喷口对准并将整个钕铁硼磁致驱动器通过PDMS弹性环固定 在PDMS薄膜表面，载波片承载微喷口挤出的微液滴点阵列。 利用硅深反应离子刻蚀和微机电加工系统技术在硅基片上制 作含有进样池、微通道、微贮液池和微喷口等微结构，根据磁 致驱动原理制作驱动器，并用于驱动PDMS弹性薄膜，采用 PDMS和环氧树脂将制成的独立部件进行封装而制成。具有操 作简单，易于普及特点。 |
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