| 专利名称 | 一种微纳米热检测传感组件 | 申请号 | CN200910198452.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102053171A | 公开（授权）日 | 2011.05.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 发明（设计）人 | 曾华荣;殷庆瑞;惠森兴;赵坤宇;李国荣 | 主分类号 | G01Q60/24(2010.01)I | IPC主分类号 | G01Q60/24(2010.01)I;G01Q60/38(2010.01)I;G01N25/00(2006.01)I;G01N25/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种微纳米热检测传感组件 至一种微纳米热检测传感组件 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明揭示了一种微纳米热检测传感组件，包括：加热并探测被测样品温度的热探针；在热探针检测时探测环境温度的参考探针；以磁力吸住热探针的底板，对热探针定位的磁性底座；隔离体，设置于磁性底座下方；定位器，采用压板结构，将热探针的引线压住，对热探针起辅助定位作用；输出连接体电路板，包括印刷线路板和连接器，印刷电路板与参考探针和热探针的输出端相连，连接器用于与外部检测桥路相连；测试支架，用于固定输出连接体电路板、磁性底座、隔离体和定位器。本发明具有检测灵敏度高、抗外部环境干扰强等特点，并可与商用原子力显微镜(AFM)完全兼容，原位获得被测样品的形貌像与热学像。其热成像分辨率达60纳米，优于同类国外产品。 |
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