| 专利名称 | 高真空深冷水汽捕集器 | 申请号 | CN200410047936.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1707101 | 公开（授权）日 | 2005.12.14 | 申请（专利权）人 | 中国科学院理化技术研究所 | 发明（设计）人 | 公茂琼;吴剑锋;胡勤国 | 主分类号 | F04B37/08 | IPC主分类号 | F04B37/08 | 专利有效期 | 高真空深冷水汽捕集器 至高真空深冷水汽捕集器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及的高真空深冷水汽捕集器，包括高真 空水汽捕集单元、低真空水汽捕集单元、压缩机单元、低真空 室、真空连接管道以及制冷剂输运管道组成。布置方式为：高 真空捕集单元放置在高真空系统中的高真空泵(B)入口与高真 空室(A)连接处的高真空环境中，或放置在高真空系统中的高 真空室(A)内；低真空捕集单元放置在低真空室中，低真空室 通过真空系统连接管道同时与高真空系统中的高真空泵(B)出 口及前级真空泵(C)入口连接；高真空捕集单元工作温区在110 －150K。本发明提出的深冷水汽捕集器对水蒸汽具有选择性捕 集，可以显著提高抽速和极限真空度，制作成本低、可靠性高 和无需专门维护等特点。 |
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