| 专利名称 | 一种经改进的微悬臂梁弹性系数的测试方法 | 申请号 | CN200510026156.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1699960 | 公开（授权）日 | 2005.11.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 鲍海飞;李昕欣 | 主分类号 | G01N13/16 | IPC主分类号 | G01N13/16;G01B21/32;G01N3/00 | 专利有效期 | 一种经改进的微悬臂梁弹性系数的测试方法 至一种经改进的微悬臂梁弹性系数的测试方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种经改进的微悬臂梁弹性系数的测试方法，具 体步骤是(1)首先将已知弹性系数 ko的带有探针的悬臂梁安装在 原子力显微镜夹具中，将已知悬臂梁与一个硬基底接触获得其 总形变量δtot；(2)将未知悬臂梁 或者微结构放置在测试基座上，将已知悬臂梁与未知悬臂梁的 上表面相互接触，获得在未知悬臂梁上的形变量δ t1；(3)再将未知悬臂梁微结构翻 转180度，进行与步骤(2)相同的测试获得形变量δ t2；(4)再采用δ test＝(δ t1+δ t2)/2计算出平均形变量；(5)再利 用公式 K=Ko[δtestcos(θ)/δtot－ δtest]进行计算，得到弹性系数； 式中，θ为两个悬臂梁之间的夹角， 0.3ko＜k＜ 3ko。本方法可扩展测试其他微 结构单元或器件的弹性系数或其他力学量。 |
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