坩埚升降法补充熔料生长晶体的装置和方法

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专利名称 坩埚升降法补充熔料生长晶体的装置和方法 申请号 CN200410089075.8 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1680635 公开(授权)日 2005.10.12 申请(专利权)人 中国科学院上海硅酸盐研究所 发明(设计)人 郑燕青;陆治平;施尔畏;王绍华;崔素贤 主分类号 C30B15/00 IPC主分类号 C30B15/00;C30B29/30 专利有效期 坩埚升降法补充熔料生长晶体的装置和方法 至坩埚升降法补充熔料生长晶体的装置和方法 法律状态 授权 说明书摘要 本发明涉及一种坩埚升降法补充熔料生长晶体 的装置和方法,属于晶体生长领域。本发明生长装置中,生长 坩埚10与原料补给坩埚8相连通,补给坩埚可套在生长坩埚 的外部。生长坩埚的顶部或补给坩埚的底部连接坩埚升降机构 3。提拉旋转系统包括提拉旋转机构2、籽晶杆11。加热控温 机构4与加热元件7相连构成加热控温系统,用以控制坩埚的 温度。称量装置1与提拉旋转机构2和坩埚升降机构3相连接, 根据提拉所得的晶体重量控制生长坩埚或补给坩埚的升降,将 原料补给坩埚中的熔体补入生长坩埚。采用本发明的生长装置 和方法获得的单晶成分均匀性高、成分可调整、光学均匀性好、 尺寸大,本发明的生长设备简单、成本低。

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