| 专利名称 | 具有平整谐振腔层的滤光片列阵 | 申请号 | CN200510025460.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1677137 | 公开（授权）日 | 2005.10.05 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 王少伟;陆卫;陈效双;李宁;张波;李志锋;陈平平 | 主分类号 | G02B5/20 | IPC主分类号 | G02B5/20 | 专利有效期 | 具有平整谐振腔层的滤光片列阵 至具有平整谐振腔层的滤光片列阵 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种具有平整谐振腔层的滤光片 列阵，它是利用F－P结构滤光片的带通峰位随其谐振腔层厚 度的变化而改变的特性设计的。它包括基片，在基片上依次排 列下层膜系、谐振腔层膜系、上层膜系。其特征在于：谐振腔 膜层是厚度不同的膜层列阵，它是通过组合镀膜来实现不同厚 度谐振腔膜层在同一基片上的集成，以达到控制每个微型窄带 滤光片的带通峰位，从而实现不同带通峰位窄带滤光片在同一 块基片上集成的目的。这种结构的优点是避免了因刻蚀引起界 面粗糙而导致的滤光片性能下降和控制精度问题，与传统镀膜 方法相比，制备效率和成品率都非常高。 |
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