| 专利名称 | 一种玻璃微流控芯片及制作方法 | 申请号 | CN200510023895.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1648663 | 公开（授权）日 | 2005.08.03 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 金庆辉;庄贵生;刘菁;贾春平;赵建龙 | 主分类号 | G01N33/48 | IPC主分类号 | G01N33/48;G01N35/00 | 专利有效期 | 一种玻璃微流控芯片及制作方法 至一种玻璃微流控芯片及制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提出了一种玻璃微流控芯片及制作方法， 更确切地说是一种基于SU－8光敏胶做中间层的微流控芯片 及制作方法，本发明采用玻璃作衬底材料，SU－8做中间层， 芯片制作过程对玻璃表面的平整度不敏感。本方法通过一层稀 释的SU－8层实现先光刻显影制得微管道，再与玻璃盖片直接 键合的过程，克服了以往方法先键合，后光刻和显影产生的显 影时间不均一，管道不平 整的缺点。选用紫外高透过率的石英作衬底材料，利用本法可 以方便制备用于紫外吸收检测的微流控芯片。因此本发明建立 了一种低成本、高成功率的微流控芯片制作方法。 |
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