| 专利名称 | 一种束源炉断电或误操作用的保护系统、构建方法及应用 | 申请号 | CN200510023749.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1649230 | 公开（授权）日 | 2005.08.03 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 张永刚;李爱珍 | 主分类号 | H02J7/00 | IPC主分类号 | H02J7/00;H02J9/00;H02J9/04;F27B17/00 | 专利有效期 | 一种束源炉断电或误操作用的保护系统、构建方法及应用 至一种束源炉断电或误操作用的保护系统、构建方法及应用 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种束源炉断电或误操作用的保护 系统、构建方法及应用，包括在多种可能的断电或误操作状态 下对各种型号规格的束源炉及其坩埚进行有效保护的系统以 及相关部件的参数确定的规则。本发明提供的保护系统包括三 个子系统，分别是用于断电或误操作状态下对束源炉进行短时 间或缓慢降温的储能电源；对束源炉的工作状态进行自动切换 和对蓄电池进行充电控制的充电控制以及作为充电电源的 AC/DC变换器。它或用于各类分子束外延设备或适用于其他在 断电及误操作状态下需要保证有关高温部件缓慢降温的系统。 具有系统结构简单，高的可靠性及成本较低，接入方便，对原 有系统无不良影响等特点。是一种普适的系统，具有很好的通 用性。 |
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