| 专利名称 | 一种嵌入式液氦低温吸附泵 | 申请号 | CN201010107895.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101782058A | 公开（授权）日 | 2010.07.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院等离子体物理研究所 | 发明（设计）人 | 胡纯栋;谢远来;汪明明;刘智民;刘胜;陶玲;李军;蒋才超;梁立振;盛鹏;郭强;谢亚红 | 主分类号 | F04B37/08(2006.01)I | IPC主分类号 | F04B37/08(2006.01)I;F04B37/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种嵌入式液氦低温吸附泵 至一种嵌入式液氦低温吸附泵 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种嵌入式液氦低温吸附泵，包括有壳体，壳体上有连接法兰，法兰和真空系统相连接，壳体内安装有液氮杜瓦、液氦杜瓦，液氮杜瓦为环形套式结构，环绕在液氦杜瓦外侧，液氦杜瓦通过导管连接吸附抽气面位于真空系统内部。实际使用中，本嵌入式4.2K液氦低温吸附泵在极其复杂的电磁环境下(如用在NBI中性束注入设备)使用，吸附面对H2的比抽速可达到12L/s.cm2，对氦也具备一定的抽速，可达到8.5L/s.cm2，工作稳定可靠且有优越的气体负荷适应能力。 |
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