| 专利名称 | 一种氮化镓表面腐蚀液及腐蚀方法 | 申请号 | CN201010565046.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102134491A | 公开（授权）日 | 2011.07.27 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 王平;许金通;杨晓阳;陆荣;刘福浩;李向阳 | 主分类号 | C09K13/02(2006.01)I | IPC主分类号 | C09K13/02(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种氮化镓表面腐蚀液及腐蚀方法 至一种氮化镓表面腐蚀液及腐蚀方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种氮化镓表面腐蚀液及腐蚀方法，氮化镓表面腐蚀液由浓度为1±0.1摩尔/升的氢氧化钾溶液加热到35摄氏度后溶解进浓度为2±0.2摩尔/升的碳酸钾配制而成，腐蚀液的优点在于：腐蚀工艺所需的温度低、腐蚀后氮化镓表面状态好。 |
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