| 专利名称 | 一种生物微喷阵列点样装置及其制作方法 | 申请号 | CN200410054083.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1629319 | 公开（授权）日 | 2005.06.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 赵建龙;许宝建;金庆辉;李贻昆;何志明 | 主分类号 | C12Q1/68 | IPC主分类号 | C12Q1/68 | 专利有效期 | 一种生物微喷阵列点样装置及其制作方法 至一种生物微喷阵列点样装置及其制作方法 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种生物微喷阵列点样装置及制作 方法，其特征在于点阵装置的主体结构依次由四层组成，最上 面一层是用于封装的聚二甲基硅氧烷薄膜，第二层是用于固定 和支撑的硬性物质，第三层是微型EAP驱动器，第四层是含 微进样池、微管道、微贮液池和微喷嘴阵列的微结构层；第三 层和第四层是用紫外胶封装，第二层、第三层和第四层用AB 胶封装。其制作方法是利用MEMS技术和封装技术，它不同 与微印章法。利用电致伸缩聚合物代替压电聚合物，本发明具 有制作的点样装置体积小，制作简单，工艺流程短而装置设计 灵活、多变等特点。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
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4、专员跟进，交易保障