用于相变存储器的Si-Sb-Te材料

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专利名称 用于相变存储器的Si-Sb-Te材料 申请号 CN201110021605.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102130298A 公开(授权)日 2011.07.20 申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 饶峰;宋志棠;吴良才;任堃;周夕淋 主分类号 H01L45/00(2006.01)I IPC主分类号 H01L45/00(2006.01)I 专利有效期 用于相变存储器的Si-Sb-Te材料 至用于相变存储器的Si-Sb-Te材料 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明揭示了一种用于相变存储器的Si-Sb-Te相变材料,其化学式为SixSb2Te3,0

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