| 专利名称 | 电控可调谐光子晶体波分复用器及其制作方法 | 申请号 | CN201110406571.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102393573A | 公开（授权）日 | 2012.03.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 许兴胜;高永浩;李成果 | 主分类号 | G02F1/025(2006.01)I | IPC主分类号 | G02F1/025(2006.01)I;G02F1/361(2006.01)I;G02B6/122(2006.01)I;G02B6/138(2006.01)I | 专利有效期 | 电控可调谐光子晶体波分复用器及其制作方法 至电控可调谐光子晶体波分复用器及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种电控可调谐光子晶体波分复用器，包括：一薄金属透明电极层；一聚合物层，位于薄金属透明电极层的下方；一顶层硅层，该顶层硅层的上面开有光子晶体孔阵列，该顶层硅层位于聚合物层的下方；一二氧化硅层，为环状结构，位于顶层硅层下面的四周，使二氧化硅层不遮挡光子晶体孔阵列；一衬底硅层，为环状结构，位于环状二氧化硅层的下面。 |
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