| 专利名称 | 集成窄带滤光片 | 申请号 | CN200410067892.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1614451 | 公开（授权）日 | 2005.05.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 王少伟;陆卫;陈平平;李宁;张波;李志锋;陈效双 | 主分类号 | G02B5/20 | IPC主分类号 | G02B5/20;G02F1/01 | 专利有效期 | 集成窄带滤光片 至集成窄带滤光片 | 法律状态 | 专利实施许可合同备案的生效、变更及注销 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种集成窄带滤光片，包括：基片， 在基片上依次有相互牢固结合的下层膜系，厚度不等的谐振腔 层列阵和上层膜系。本发明的集成窄带滤光片是基于F－P干 涉原理，通过半导体刻蚀工艺来获取不同谐振腔层的厚度，达 到控制窄带滤光片的带通峰位，从而实现不同透射波长窄带滤 光片在同一块基片上的集成。这种滤光片可适用于各个波段窄 带滤光片列阵的制备。其优点是：工艺简单，只需设计一个膜 系、通过镀膜和刻蚀即可完成集成窄带滤光片的制备，所制备 的滤光片各单元的半峰宽很窄，其相对半峰宽都小于0.36％， 可以起到很好的波长选择作用。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障