| 专利名称 | 基于微棱镜阵列的脉冲光光束质量检测哈特曼波前传感器 | 申请号 | CN200310100168.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1607379 | 公开（授权）日 | 2005.04.20 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 王海英;蒋鹏;杨泽平;李恩德;张雨东 | 主分类号 | G01J1/00 | IPC主分类号 | G01J1/00;G02B26/06;G02B3/00 | 专利有效期 | 基于微棱镜阵列的脉冲光光束质量检测哈特曼波前传感器 至基于微棱镜阵列的脉冲光光束质量检测哈特曼波前传感器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 基于微棱镜阵列的脉冲光光束质量检测哈特曼 波前传感器，包括能接收并发出同步脉冲信号的数据采集设 备、微棱镜阵列、傅立叶透镜和光电探测器，其特点在于：所 述的微棱镜哈特曼波前传感器由变周期二维锯齿形相位光栅 结构的微棱镜阵列、与其紧贴着的傅立叶透镜及光电探测器组 成，其中的二维锯齿形相位光栅阵列的微棱镜阵列可有单面光 刻中心对称的环形布局结构和两面光刻的双面光栅结构，既可 采用微光学技术，也可采用二元光学技术加工。本发明结构简 单、稳定，加工工艺易实现，相对于现有的微透镜技术，能够 简化哈特曼波前传感器的安装、调节，实现批量化生产。 |
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