| 专利名称 | 微梁直拉直压结构压阻微机械陀螺及制作方法 | 申请号 | CN200410068145.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1603743 | 公开（授权）日 | 2005.04.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 李昕欣;陈雪萌;宋朝辉;王跃林 | 主分类号 | G01C19/00 | IPC主分类号 | G01C19/00;G01C19/56;G01P3/44 | 专利有效期 | 微梁直拉直压结构压阻微机械陀螺及制作方法 至微梁直拉直压结构压阻微机械陀螺及制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种微梁直拉直压结构的压阻微机 械陀螺及制作方法，其特征在于将加速度计作为陀螺的科里奥 利加速度检测部分，把两个加速度计放在扭转驱动结构两侧， 形成类似音叉原理的微机械陀螺；使用压阻四端器件，检测、 控制陀螺的驱动幅度，实现陀螺灵敏度的温度自我补偿。其制 备工艺是将体硅工艺和表面硅工艺相结合，用深反应离子刻蚀 工艺完成主梁、微梁、扭转梁和质量块制作，最后将陀螺和盖 板对准粘在一起完成制作。本发明提供的陀螺利用扩散在扭转 梁上的四端器件实现压阻系数温度自我补偿，扦测时微梁没有 弯曲，只有Z方向直拉直压。 |
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