自旋阀型数字式磁场传感器及其制作方法

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专利名称 自旋阀型数字式磁场传感器及其制作方法 申请号 CN200410090615.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1603855 公开(授权)日 2005.04.06 申请(专利权)人 中国科学院物理研究所 发明(设计)人 王磊;赵静;韩宇男;韩秀峰 主分类号 G01R33/09 IPC主分类号 G01R33/09 专利有效期 自旋阀型数字式磁场传感器及其制作方法 至自旋阀型数字式磁场传感器及其制作方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种自旋阀型数字式磁场传感器, 包括:片基;片基上所形成的若干个具有一定厚度的自由层和 钉扎层的自旋阀元件,每个自旋阀元件的自由层和钉扎层厚度 之和相等且零场时电阻相等;参考电阻,其电阻不随磁场变化; 电路部分,包括一个双态或三态电压或电阻比较器和一个扫描 电源电路,扫描电源电路与自旋阀和参考电阻相连,依次向每 个自旋阀元件发出脉冲电流,比较器与每个自旋阀元件及参考 电阻相连,分别比较参考电阻与每个自旋阀之间的电阻大小并 输出信号。本发明灵敏度比现有的GMR磁性传感器灵敏度提 高20-40倍,并且不存在通常传感器的线性度的问题;同时 由于是数字式的,所以有着很强的抗干扰能力。

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