基于微棱镜阵列的人眼像差哈特曼波前传感器

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专利名称 基于微棱镜阵列的人眼像差哈特曼波前传感器 申请号 CN03126431.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1601231 公开(授权)日 2005.03.30 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 张雨东;王海英;饶学军;凌宁;姜文汉 主分类号 G01D5/26 IPC主分类号 G01D5/26 专利有效期 基于微棱镜阵列的人眼像差哈特曼波前传感器 至基于微棱镜阵列的人眼像差哈特曼波前传感器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 基于微棱镜阵列的人眼像差哈特曼波前传感器, 由光源、光束匹配望远镜、过渡系统、微棱镜阵列、傅立叶透 镜和光电探测器CCD组成,其特征在于:所述的微棱镜哈特 曼波前传感器由变周期二维锯齿形相位光栅结构的微棱镜阵 列、与其紧贴着的傅立叶透镜及光电探测器组成,其中二维锯 齿形相位光栅结构的微棱镜阵列可有两种结构,分别是单面光 刻中心对称的环形结构和两面光刻的双面光栅结构,既可采用 微光学技术,也可采用二元光学技术加工。本发明结构简单、 稳定,加工工艺易实现,相对于现有的微透镜技术,能够简化 哈特曼波前传感器的安装、调节,实现批量化生产。

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