| 专利名称 | 一种离子产生装置 | 申请号 | CN201110206349.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102291922A | 公开（授权）日 | 2011.12.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院空间科学与应用研究中心 | 发明（设计）人 | 徐跃民;孙海龙;吴逢时;丁亮;鉴福升;孙简;霍文青;杨新杰 | 主分类号 | H05H1/30(2006.01)I | IPC主分类号 | H05H1/30(2006.01)I;H05H1/10(2006.01)I | 专利有效期 | 一种离子产生装置 至一种离子产生装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种离子产生装置。所述装置包括工作气体储存罐(1)、等离子体矩(2)、微波源(3)、线圈(4)和流量控制器(10)；所述等离子体矩(2)包括同轴设置的外导体(5)、内导体(6)、短路活塞(7)和喷口(8)，所述短路活塞(7)设置于外导体(5)和内导体(6)之间；所述微波源(3)设置于外导体(5)前端的能量馈入点上，用于将能量馈入，外导体(5)和内导体(6)及短路活塞(7)之间形成微波谐振腔(9)；所述外导体(5)前部外面缠绕包覆线圈(4)，用于通电后产生螺旋磁场。通过本发明的装置对等离子体进行参数的控制时不再局限于密闭的腔体中进行，应用更加广泛。 |
1、源头对接，价格透明
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