| 专利名称 | 低温干涉仪 | 申请号 | CN201110204817.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102288293A | 公开（授权）日 | 2011.12.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 华建文;代作晓;王战虎;樊庆;段娟;陆燕 | 主分类号 | G01J3/45(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J3/45(2006.01)I;G01J3/02(2006.01)I | 专利有效期 | 低温干涉仪 至低温干涉仪 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种低温干涉仪，它包括动镜模块、定镜模块、分束器模块、干涉仪框架、传热板、隔热支撑筒、以稳频激光器为代表的光程差度量系统、以气动元件和储气筒为代表的动镜锁定装置、干涉仪安装基板等组成。这种干涉仪仪能在200K的低温下工作。 |
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