| 专利名称 | PVDF有机聚合物薄膜电容器 | 申请号 | CN201010101879.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101752087A | 公开（授权）日 | 2010.06.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 李超;孙璟兰;孟祥建;王建禄;田莉;乔辉;张燕;李向阳 | 主分类号 | H01G4/33(2006.01)I | IPC主分类号 | H01G4/33(2006.01)I;H01G4/14(2006.01)I;H01G4/005(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 专利有效期 | PVDF有机聚合物薄膜电容器 至PVDF有机聚合物薄膜电容器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开一种PVDF有机聚合物薄膜电容器，其特征在于，器件结构包括：一衬底；一金属底电极，该金属底电极生长在衬底上；一介电绝缘层，该介电绝缘层为孔型，将部分金属底电极包裹起来；一有机聚合物薄膜，该有机聚合物薄膜生长在介电绝缘层开孔处，面积略大于开孔面积；一金属上电极，该金属上电极生长在有机聚合物薄膜上；一包裹电极，该包裹电极生长在金属上电极上，将有机聚合物薄膜与金属上电极包裹起来。本发明的器件结构利用介电层隔离上下电极，并利用上电极作为PVDF薄膜光刻掩膜，最终利用包裹电极将PVDF有机聚合物薄膜侧面保护起来，方便后续传统工艺的实施，使其可与其他器件集成制备，不受传统工艺的限制。 |
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