对射光束同轴误差的测量方法

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专利名称 对射光束同轴误差的测量方法 申请号 CN201110063651.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102226689A 公开(授权)日 2011.10.26 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 吕德胜;赵剑波;屈求智;汪斌;刘亮;王育竹 主分类号 G01B11/26(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/26(2006.01)I 专利有效期 对射光束同轴误差的测量方法 至对射光束同轴误差的测量方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种对射光束同轴误差的测量方法,该方法通过一个分束棱镜、二维平移调整器、角反射器、光强探测器和观测屏,可以测量两束对射重合光的重合误差,本发明方法具有设备简单、容易观测,测量方便,对射光束的同轴调整快捷方便、准确可靠的特点。

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