| 专利名称 | 用于大口径成像的复合型光子筛及其制作方法 | 申请号 | CN200910235465.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102043178A | 公开（授权）日 | 2011.05.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 谢常青;潘一鸣;朱效立;贾佳;刘明 | 主分类号 | G02B5/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/18(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 专利有效期 | 用于大口径成像的复合型光子筛及其制作方法 至用于大口径成像的复合型光子筛及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种用于大口径成像的复合型光子筛及其制作方法，属于衍射光学元件技术领域。所述复合型光子筛包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜，在不透光薄膜上设计有一系列透光环带和随机分布的透光小孔。其中，透光平面可以为熔融石英、普通玻璃、有机玻璃等透光材料，不透光薄膜为透光衬底上制备的一层铬、金、铝、铜等金属挡光层，透光环带和透光小孔所在的位置没有金属挡光层。本发明提供的复合型光子筛，相对于菲涅尔波带片，可以提高数值孔径，提高成像分辨率，能够有效的抑制光轴方向的旁瓣效应和高阶衍射；相对于普通光子筛，能够提高成像对比度，并且有效减小GDSII版图文件的数据量，降低大口径成像光子筛的加工难度。 |
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