| 专利名称 | 一种绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法 | 申请号 | CN201110116568.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102220562A | 公开（授权）日 | 2011.10.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明（设计）人 | 冯泉妤;黄金华;张宇龙;杨晔;宋伟杰 | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 专利有效期 | 一种绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法 至一种绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法，包括步骤：采用磁控溅射方法，以掺杂元素掺杂的氧化锌陶瓷为靶材，以氩气为溅射气体，本底真空度为4×10-3～1×10-4Pa，溅射气体的压力为0.2～1.5Pa，衬底温度为150～350℃，制得绒面结构氧化锌透明导电薄膜。该方法工艺简单，生产成本低，适于大规模工业化生产；制备的薄膜厚度为300～1200nm，绒度在3％～10％，方块电阻在5～50Ω/□，粗糙度在10～50nm，具有较高的绒度，较高的表面粗糙度和优良的电光学性能，适合于薄膜太阳电池的制备，可以提高太阳电池的光电转换效率。 |
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