| 专利名称 | VLS过程中压强控制合成一维无机纳米锥状结构材料的方法 | 申请号 | CN201010148650.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102219180A | 公开（授权）日 | 2011.10.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院理化技术研究所 | 发明（设计）人 | 张晓宏;王辉;王建涛;欧雪梅 | 主分类号 | B82B3/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B82B3/00(2006.01)I;C22C28/00(2006.01)I | 专利有效期 | VLS过程中压强控制合成一维无机纳米锥状结构材料的方法 至VLS过程中压强控制合成一维无机纳米锥状结构材料的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种制备一维无机纳米锥状结构材料的方法。该方法包括如下步骤：1)将前驱物和金属催化剂混合后置于容器中，并将其放入真空管式炉的高温区，将衬底置于低温区，使炉腔内呈无氧状态，然后通入非氧化性保护气体使所述炉腔内的压强不高于1x104Pa，密封真空管式炉；所述高温区的温度为1300-1400℃，所述低温区的温度为1100-800℃；2)开启加热装置，以10-20℃/分钟的升温速率，将真空管式炉的高温区加热至1300-1400℃并维持30-300分钟，停止加热，冷却至室温，然后向炉腔内通入非氧化性气体至一个大气压，打开炉腔，在衬底上得到了一维无机纳米锥状结构材料。本发明的方法简单，设备廉价；该方法通过控制VLS过程中催化剂金属液滴合成了直径可变的一维硅基纳米结构，适用于多种无机材料的锥状结构生长。 |
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