| 专利名称 | 用于纳米级位移系统的纳米扫描台 | 申请号 | CN200920187553.7 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN201518227U | 公开（授权）日 | 2010.06.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学技术大学 | 发明（设计）人 | 王克逸;吴云良;张兴华;郝鹏 | 主分类号 | G12B21/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G12B21/20(2006.01)I | 专利有效期 | 用于纳米级位移系统的纳米扫描台 至用于纳米级位移系统的纳米扫描台 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及用于扫描探针显微镜的纳米扫描台，其包括安装于矩形底板上的扫描台支架，纳米扫描台内设有柔性铰链；柔性铰链为四棱短管状，其每一侧壁均为由内侧壁和外侧壁组成的夹层薄壁，每一侧外侧壁均通过细杆连接着内套筒外端，内套筒内侧连接着压电陶瓷管，压电陶瓷管的另一端连接着外套筒内侧，外套筒的外端连接着扫描台支架，且四根压电陶瓷管均布在扫描台的两个对角线方向的四个角处；柔性铰链的轴向顶面连接着样品台。本实用新型不但保留了传统结构中径向(XY方向)的大扫描范围，更扩大了轴向(Z向)的移动范围；其结构简单，体积小，易于封装；同时也能用于各种需要纳米级位移的系统中。 |
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