| 专利名称 | 一种铜合金加工用微钻及其制备方法 | 申请号 | CN201010039633.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101775587A | 公开（授权）日 | 2010.07.14 | 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明（设计）人 | 孙丽丽 | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;B32B9/04(2006.01)I | 专利有效期 | 一种铜合金加工用微钻及其制备方法 至一种铜合金加工用微钻及其制备方法 | 法律状态 | 著录事项变更 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种铜合金加工用微钻及其制备方法，该微钻包括微钻基体和沉积在微钻基体表面的薄膜，所述的薄膜由三层膜层组成，在微钻基体表面由内而外依次为：过渡金属单质薄膜层、过渡金属的碳化物薄膜层和类金刚石碳膜层。所述制备方法包括：微钻基体尖端用金属丝屏蔽后，通过线性离子源或/和磁控溅射源，对微钻基体进行三层薄膜层的沉积。本发明通过对高速钢微钻尖端采用了金属丝屏蔽措施，然后进行了多层薄膜沉积，极大幅度地提高了铜合金加工用微钻的耐磨抗粘附性能、使用寿命和加工质量。 |
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