一种真空泵用预抽装置

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专利名称 一种真空泵用预抽装置 申请号 CN201110051802.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102654116A 公开(授权)日 2012.09.05 申请(专利权)人 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 发明(设计)人 张振厚;王光玉;秦柏林 主分类号 F04B37/14(2006.01)I IPC主分类号 F04B37/14(2006.01)I;F04B39/16(2006.01)I;F04B39/00(2006.01)I 专利有效期 一种真空泵用预抽装置 至一种真空泵用预抽装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及真空泵机组装置,具体地说是一种真空泵用预抽装置,该预抽装置安装在真空泵端部轴承腔内,包括倒气螺杆、阀体及过滤桶,其中倒气螺杆的一端与真空泵的泵体相连,另一端与阀体螺纹连接,在阀体上密封连接有过滤桶,轴承腔内的气体通过过滤桶过滤,依次经过阀体、倒气螺杆进入真空泵的低压端。本发明过滤充分,通过不同方式进行过滤,有效保证泵内气体清洁;结构简单、巧妙,适合所有干式真空泵结构,安装维护方便。

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