专利名称 | 基于倏逝场耦合及周期微结构选频的混合硅单模激光器 | 申请号 | CN201210174309.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN102684069A | 公开(授权)日 | 2012.09.19 | 申请(专利权)人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明(设计)人 | 张冶金;渠红伟;王海玲;马绍栋;郑婉华 | 主分类号 | H01S5/34(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S5/34(2006.01)I;H01S5/22(2006.01)I;H01S5/065(2006.01)I;H01S5/343(2006.01)I | 专利有效期 | 基于倏逝场耦合及周期微结构选频的混合硅单模激光器 至基于倏逝场耦合及周期微结构选频的混合硅单模激光器 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种基于倏逝场耦合及周期微结构选频混合硅单模激光器,包括:一硅衬底,该硅衬底为单晶硅材料;一二氧化硅层,该二氧化硅层制作在硅衬底之上;一硅波导层,该波导层制作在二氧化硅层之上,该波导层的纵向开有两条空气沟道,两条空气沟道之间为带有周期微结构的脊形条;一键合缓冲层,其制作在硅波导层上的中间,该键合缓冲层的宽度小于硅波导层的宽度,形成脊形条状,该键合缓冲层的两侧形成台面;两条状N型电极,制作在键合缓冲层两侧的台面上;一N型接触层,其制作在键合缓冲层之上;一量子阱有源区,其制作在N型接触层之上;一P型接触层,其制作在量子阱有源区之上;一P型盖层,其制作在P型接触层之上;一条状P型电极制作在P型盖层之上。 |
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