| 专利名称 | 一种投影物镜波像差检测装置及方法 | 申请号 | CN201210154523.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102681365A | 公开（授权）日 | 2012.09.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 刘志祥;刘学峰;吕保斌;陈红丽;甘大春;何毅 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种投影物镜波像差检测装置及方法 至一种投影物镜波像差检测装置及方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种投影物镜波像差检测装置及方法，光源发出的光线均匀照明在投影物镜物面上，散射板和针孔安装在掩模台上，针孔位于投影物镜的物面，通过掩模台移动进行视场选择，剪切光栅位于投影物镜的像面，和探测器一起安装在硅片台上，通过硅片台的横向精密移动光栅实现相移功能，同时使用探测器记录相移过程中的每一帧剪切干涉图。本发明使用二维光栅实现了二维剪切，同时将相移功能集成到剪切干涉仪中，结合其相位空间矢量特性，实现了投影物镜波像差的高精度测量。 |
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