| 专利名称 | 一种微机械磁场传感器及其制备方法 | 申请号 | CN201210134030.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102680917A | 公开（授权）日 | 2012.09.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 熊斌;吴国强;徐德辉;王跃林 | 主分类号 | G01R33/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01R33/02(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种微机械磁场传感器及其制备方法 至一种微机械磁场传感器及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种微机械磁场传感器及其制备方法，属于微机电系统领域。该方法通过在器件结构层上制作出金属线圈及焊盘，然后利用干法刻蚀制作出器件结构，并将器件结构进行释放以形成谐振振子。本发明提出的微机械磁场传感器的谐振振子工作在扩张模态，因而金属线圈上每小段金属切割磁感线产生感应电动势会相互叠加，增强了输出信号的强度。此外，本发明所述的微机械磁场传感器具有低功耗、驱动-检测电路简单、受温度影响小、以及工艺简单等优点，具有高度的产业价值。 |
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