| 专利名称 | 提高超分辨相位板光斑性能的装置 | 申请号 | CN201210138157.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102681200A | 公开（授权）日 | 2012.09.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 查一昆;魏劲松;干福熹 | 主分类号 | G02B27/48(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B27/48(2006.01)I;G02B27/58(2006.01)I;G02F1/35(2006.01)I | 专利有效期 | 提高超分辨相位板光斑性能的装置 至提高超分辨相位板光斑性能的装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种提高超分辨相位板光斑性能的装置，特征在于其构成：沿光束前进方向依次是三环纯相位型超分辨相位板、数值孔径NA=0.95的物镜、Sb2Te3非线性饱和吸收薄膜，所述的三环纯相位型超分辨相位板的归一化半径为r1=0.13，r2=0.47，r3=1；三区的位相分别为：φ1=0，φ2=π，φ3=0；所述的物镜与所述的三环纯相位型超分辨相位板紧贴，所述的Sb2Te3非线性饱和吸收薄膜位于所述的物镜的焦平面，该Sb2Te3非线性饱和吸收薄膜的厚度的选择范围为10~100nm，非线性饱和吸收薄膜的线性吸收系数和非线性吸收系数分别为α0＝5*107/m和β＝-2*10-2m/w。本发明进一步减小光斑、降低旁瓣、延长焦深。 |
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