| 专利名称 | 基于空间像检测的投影物镜波像差原位测量方法 | 申请号 | CN201210115759.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102681358A | 公开（授权）日 | 2012.09.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 段立峰;王向朝;徐东波 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 基于空间像检测的投影物镜波像差原位测量方法 至基于空间像检测的投影物镜波像差原位测量方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种基于空间像检测的投影物镜波像差原位测量方法，该方法通过安装在工件台上的图像传感器测量具有不同方向取向的掩模标记对应的空间像光强分布，之后通过标定好的灵敏度矩阵计算得到投影物镜波像差。灵敏度矩阵可利用光刻物理仿真软件进行标定。相比于在先技术，本方法可以更为全面的检测投影物镜波像差。 |
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