| 专利名称 | 用于光刻照明的多分区光学位相板的设计方法 | 申请号 | CN201110047072.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102109676A | 公开（授权）日 | 2011.06.29 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 朱菁;胡中华;杨宝喜;陈明;曾爱军;黄惠杰 | 主分类号 | G02B27/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B27/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 用于光刻照明的多分区光学位相板的设计方法 至用于光刻照明的多分区光学位相板的设计方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种用于光刻照明的多分区光学位相板的设计方法，其特点在于该方法包括下列步骤：①计算位相单元的尺寸l；②光学位相板分区大小d的选取；③入射光束和确定所需光束的光强分布并进行矩阵化处理；④对位相板中一个分区的初始位相赋值；⑤采用迭代算法并进行离散化处理，得到该分区的位相分布；⑥逐一对每一个分区重复步骤④和步骤⑤，得到每个分区的位相分布，并组合在一起得到整体位相分布；⑦设计结果的评估。本发明设计的光学位相板具有对入射光束的位置、尺寸、形状与光强分布变化不敏感，能获得所需要的输出光强分布的特点。 |
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