一种低温去除硅中硼磷的方法

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专利名称 一种低温去除硅中硼磷的方法 申请号 CN201010620791.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102107874A 公开(授权)日 2011.06.29 申请(专利权)人 中国科学院过程工程研究所 发明(设计)人 赵立新;王志;郭占成 主分类号 C01B33/037(2006.01)I IPC主分类号 C01B33/037(2006.01)I 专利有效期 一种低温去除硅中硼磷的方法 至一种低温去除硅中硼磷的方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种低温去除硅中硼磷的方法,属于高纯硅的生产技术领域,是硅在锡基合金液中的重结晶净化。该方法将工业硅经过破碎酸洗预处理,与锡基合金加热完全共熔,冷却使硅重新结晶析出,结晶硅快速铸块,破碎酸洗可得硼、磷浓度低的高纯硅。该方法重结晶温度为300~1400℃,硅损失量小于5%。与目前冶金法净化硅相比,可实现硼、磷杂质同步快速去除,操作温度降低600~1700℃。

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