一种快速循环流态化的四氯化硅氢化方法

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专利名称 一种快速循环流态化的四氯化硅氢化方法 申请号 CN201210171854.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102674369A 公开(授权)日 2012.09.19 申请(专利权)人 中国科学院过程工程研究所 发明(设计)人 华超;闫岩;王军武;白芳 主分类号 C01B33/107(2006.01)I IPC主分类号 C01B33/107(2006.01)I 专利有效期 一种快速循环流态化的四氯化硅氢化方法 至一种快速循环流态化的四氯化硅氢化方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及四氯化硅的快速循环流态化氢化方法,其方法为:预处理后的硅粉由中部加入到氢化反应器中,压力为1-5MPa,预热温度为400-600℃的氢气和四氯化硅混合气体(摩尔比为1∶(1-5))由底部送入氢化反应器;氢化反应器中,宏观气度为0.2-4m/s,硅粉呈快速流态化状态;反应器顶部流出的产品气和硅粉经一级或者多级旋风器实现气固分离,硅粉经循环管回流进入反应器,产品气先后经余热回收系统、冷凝系统和分离系统,其中三氯氢硅作为氢化产品,分离出的四氯化硅和氢气循环利用。该方法的优点是气、固接触充分,热、质传递迅速,四氯化硅单程转化率大;床层温度场均匀,产品质量稳定;循环流化床氢化反应器操作弹性大,产能大,易于实现规模化生产。

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