| 专利名称 | 一种制作相变存储单元相变单元的方法 | 申请号 | CN200910055386.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101964394A | 公开（授权）日 | 2011.02.02 | 申请（专利权）人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 钟旻;向阳辉;王良咏;林静;张复雄;宋志棠 | 主分类号 | H01L45/00(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L45/00(2006.01)I;G11C11/56(2006.01)I | 专利有效期 | 一种制作相变存储单元相变单元的方法 至一种制作相变存储单元相变单元的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种制作相变存储单元相变单元的方法，包括：提供相变单元基底，所述相变单元基底包括第一钝化层、贯穿所述第一钝化层的金属层、以及位于所述第一钝化层上的第二钝化层；在所述相变单元基底上形成粘附层；刻蚀所述粘附层和所述第二钝化层至露出所述金属层，形成预填充开口，所述预填充开口的位置和所述金属层的位置对应；在所述粘附层及预填充开口上形成相变材料；依次去除所述第二钝化层上的所述相变材料和所述粘附层。可有效解决传统制作方法中存在的相变材料易从预填充开口中剥落的问题和引入新的存储单元结构导致相变材料加热机制改变以及相变材料污染的问题。 |
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