BSIMSOI4直流模型参数的确定方法

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专利名称 BSIMSOI4直流模型参数的确定方法 申请号 CN201010515128.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101976283A 公开(授权)日 2011.02.16 申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 陈静;伍青青;罗杰馨;柴展;王曦 主分类号 G06F17/50(2006.01)I IPC主分类号 G06F17/50(2006.01)I 专利有效期 BSIMSOI4直流模型参数的确定方法 至BSIMSOI4直流模型参数的确定方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种BSIMSOI4直流模型参数的确定方法,该方法通过提供若干不同尺寸的体引出结构MOSFET器件和浮体结构MOSFET器件;测量所有体引出结构MOSFET器件的Id-Vg-Vp、Id/Ip-Vd-Vg、Ig-Vg-Vd、Ig-Vp、Ip-Vg-Vd、Is/Id-Vp及Id/Ip-Vp-Vd特性,以及所有浮体结构MOSFET器件的Id-Vg-Vp、Id-Vd-Vg及Ig-Vg-Vd特性;并获取各个体引出结构MOSFET器件和浮体结构MOSFET器件的无自热效应的电学特性曲线;然后依次按照特定步骤提取BSIMSOI4模型的直流参数。本发明根据模型方程依次选择适当的测试曲线,逐步确定各类参数,从而可准确有效的提取出BSIMSOI4模型的直流参数。

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