| 专利名称 | 微透镜模具结构及其制作方法 | 申请号 | CN201210169407.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102662305A | 公开（授权）日 | 2012.09.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 徐德辉;熊斌;姚邵康;徐铭;马颖蕾;王跃林 | 主分类号 | G03F7/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/00(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;G02B3/00(2006.01)I | 专利有效期 | 微透镜模具结构及其制作方法 至微透镜模具结构及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及微透镜模具结构及制作方法，包括以下步骤：在抛光的硅衬底正面和背面沉积氧化硅作为腐蚀掩膜材料，在硅衬底背面制作出腐蚀窗口图形；从所述硅衬底背面腐蚀硅衬底，形成腐蚀腔体，同时形成悬浮硅薄膜；将具有悬浮硅薄膜结构的结构衬底和支撑衬底键合形成密封腔体；将步骤（3）中获得的结构送入800°C～1200°C的高温环境中，悬浮硅薄膜发生塑性形变形成微透镜形貌腔体结构。由于直接选取抛光材料，微透镜形貌腔体具有较好的表面平整度，从而保证了微透镜腔的光学特性。本发明可以通过调节温度、压力、力载荷、薄膜厚度等方式对悬浮薄膜的塑性形变量和形貌进行控制，从而调节微透镜的形貌，增加微透镜设计的自由度。 |
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