| 专利名称 | 提高半导体激光正弦相位调制干涉仪振动测量精度的方法 | 申请号 | CN201110004286.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102169012A | 公开（授权）日 | 2011.08.31 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 李中梁;王向朝;王渤帆 | 主分类号 | G01H9/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01H9/00(2006.01)I | 专利有效期 | 提高半导体激光正弦相位调制干涉仪振动测量精度的方法 至提高半导体激光正弦相位调制干涉仪振动测量精度的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种提高半导体激光正弦相位调制干涉仪振动测量精度的方法，通过合理地选择正弦相位调制深度，从原理上消除了光源的光强调制引起的系统误差，减小了电路中的直流噪声引起的随机误差，提高了振动测量精度。 |
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