| 专利名称 | 氧化锌微/纳复合结构阵列薄膜及其制备方法 | 申请号 | CN201010116594.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102167278A | 公开（授权）日 | 2011.08.31 | 申请（专利权）人 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 发明（设计）人 | 段国韬;罗媛媛;刘广强;张洪文;蔡伟平 | 主分类号 | B81B7/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B81B7/00(2006.01)I;B82B1/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;B82B3/00(2006.01)I | 专利有效期 | 氧化锌微/纳复合结构阵列薄膜及其制备方法 至氧化锌微/纳复合结构阵列薄膜及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种氧化锌微/纳复合结构阵列薄膜及其制备方法。薄膜为衬底上置有有序六方排列的单层球阵列，其中的球由介质球及其外表面依次覆有的金膜和氧化锌纳米棒/锥构成，其中，介质球的外直径为1～30μm、金膜的厚度为5～50nm，氧化锌纳米棒/锥的棒/锥轴线垂直于球心，棒/锥长为200～800nm、棒/锥直径为80～160nm、锥的锥度为3～30度；方法为先将其上带有单层晶体模板的衬底置于压力为5～10Pa下离子溅射沉积金膜，得到金膜球阵列，再将金膜球阵列置于温度为60～80℃下的氧化锌电解液中，于沉积电流密度为-0.3～-2.0mA/cm2下采用三电极法电沉积30min～4h，制得氧化锌微/纳复合结构阵列薄膜。薄膜可广泛地用于光电子器件、表面微流体、传感器等领域。 |
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