| 专利名称 | 基于微纳操作臂的多自由度近场光学显微镜 | 申请号 | CN201210119169.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102662086A | 公开（授权）日 | 2012.09.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 王瑞;谢亮;祝宁华 | 主分类号 | G01Q60/18(2010.01)I | IPC主分类号 | G01Q60/18(2010.01)I | 专利有效期 | 基于微纳操作臂的多自由度近场光学显微镜 至基于微纳操作臂的多自由度近场光学显微镜 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种基于微纳操作臂的多自由度近场光学显微镜，包括：一微纳操作臂；一石英音叉固定于微纳操作臂的前端；一近场光纤探针固定于石英音叉的一个音叉臂上；一样品扫描台位于石英音叉的下方；一正弦信号发生器的信号输出端与石英音叉的输入端相连接；一前置锁相放大器的输入端与石英音叉的输出端相连接；一控制箱其输入端与前置锁相放大器的输出端连接，其一输出端与微纳操作臂的输入端相连接，另一输出端与样品扫描台的输入端相连接；一探测器和/或光源，该探测器和/或光源与近场光纤探针相连接。其既具有超衍射极限的光学分辨能力，同时又具有大范围移动的灵活性和多自由度操作能力，占用空间小，非常便于与其他显微表征手段相结合。 |
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