基于单波导耦合微环谐振腔的光学向量-矩阵乘法器

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专利名称 基于单波导耦合微环谐振腔的光学向量-矩阵乘法器 申请号 CN201010564515.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102147634A 公开(授权)日 2011.08.10 申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 冀瑞强;杨林 主分类号 G06E1/04(2006.01)I IPC主分类号 G06E1/04(2006.01)I;G02F3/00(2006.01)I 专利有效期 基于单波导耦合微环谐振腔的光学向量-矩阵乘法器 至基于单波导耦合微环谐振腔的光学向量-矩阵乘法器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种基于单波导耦合微环谐振腔的光学向量-矩阵乘法器,包括:一衬底;一埋层,该埋层制作在衬底上;一顶层,该顶层制作在埋层上,该顶层的上面刻蚀有梳状结构,该梳状结构包括背部和齿部,该齿部的侧向刻蚀有可调谐微环谐振腔,齿部的每个齿与邻近的多个可调谐微环谐振腔相耦合形成级联多波长调制器;其中该梳状结构的背部的中间形成光信号输入端;该梳状结构的齿部的尾部形成光信号的输出端。

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