| 专利名称 | 低成本、批量化微棱镜模具的设计方法 | 申请号 | CN201210137051.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102658615A | 公开（授权）日 | 2012.09.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 吴一辉;周文超;张平;刘永顺;刘桂根;李凯伟;郝鹏 | 主分类号 | B29C33/38(2006.01)I | IPC主分类号 | B29C33/38(2006.01)I;B29L11/00(2006.01)N | 专利有效期 | 低成本、批量化微棱镜模具的设计方法 至低成本、批量化微棱镜模具的设计方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 低成本、批量化微棱镜模具的设计方法，涉及微流控芯片领域，解决现有加工棱镜模具采用的机械加工方法，使棱镜表面粗糙度大，且加工成本高，不便于批量化生产的问题，本发明利用表面光洁的硅片，结合光刻、ICP等MEMS技术，加工出所需角度棱镜左侧面、右侧面、斜面以及后直面等不同面的微小硅片，并且在左侧面和右侧面上刻有角度微型沟槽、竖直微型沟槽与角度标示孔，通过微型沟槽将各个硅片斜面和模具硅片后直面简单地拼接组装，实现微小型棱镜模具的制作，本发明所述的方法使用简单、成本低，易于批量化生产；本发明所述方法还可以应用于其他需要棱镜等相关领域。 |
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