数字式微流控变焦透镜及其制作方法

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专利名称 数字式微流控变焦透镜及其制作方法 申请号 CN201010125510.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101806929A 公开(授权)日 2010.08.18 申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 闫许;熊斌;王跃林 主分类号 G02B3/14(2006.01)I IPC主分类号 G02B3/14(2006.01)I;G02B26/02(2006.01)I 专利有效期 数字式微流控变焦透镜及其制作方法 至数字式微流控变焦透镜及其制作方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种数字式微流控变焦透镜及其制作方法。所述的数字式微流控变焦透镜中流体透镜和液压执行器单元是在基底和盖板之间充满流体的腔体,且两者腔体内流体相互连通。液压执行器单元是由若干个可独立控制的、容积相同或不同的腔体组成,工作状态下液压执行器单元腔体内流体输出量满足二进制变化。在公共电极和控制电极之间施加电压时,对应的液压执行器单元盖板会产生变形或移动,挤压执行器单元腔体内一部分流体进入透镜腔体内,使得流体透镜的透明盖板变形,从而改变透镜的焦距。选通不同的液压执行器单元腔体,能挤压不同容积的流体进入透镜腔体内,使透镜盖板产生不同程度的变形,实现透镜焦距的变化。

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