| 专利名称 | 小光斑物镜的检测仪 | 申请号 | CN00259520.6 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN2453432 | 公开（授权）日 | 2001.10.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 徐文东;干福熹;林强 | 主分类号 | G01N13/14 | IPC主分类号 | G01N13/14 | 专利有效期 | 小光斑物镜的检测仪 至小光斑物镜的检测仪 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种小光斑物镜的检测仪,包括由激光光源发射 的激光束照射被测物镜产生的小光斑被光纤探针的针尖探测 后由探测组件转变成电信号经前置放大器输入计算机。有白光 光源发射的白光光束透过被测物镜照射到光纤探针的针尖上, 将被测物镜的像方焦斑上的针尖反射到摄像机的接收面上。在 联接到摄像机上的监视器上能够观察到调整光纤探针针尖对 准被测物镜的状况,从而能够精确而方便地调整针尖探测的位 置。 |
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