| 专利名称 | 单电荷态ECR离子源 | 申请号 | CN99256174.4 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN2440264 | 公开（授权）日 | 2001.07.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院近代物理研究所 | 发明（设计）人 | 刘占稳;张子民;丁俊章;赵玉彬;雷海亮;曹云;张雪珍;赵红卫;王义芳 | 主分类号 | H01J37/08 | IPC主分类号 | H01J37/08 | 专利有效期 | 单电荷态ECR离子源 至单电荷态ECR离子源 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及一种单电荷态ECR离子源,包括 微波窗、磁场、弧腔、等离子体电极、吸极、绝缘环和法拉第 筒;磁铁部分为永磁体,在弧腔内设有双层水冷;在微波窗前设有 微波产生及传输装置;本实用新型利用双层水冷弧腔来冷却永 磁体可避免对永磁体的腐蚀,另用永磁体代替线包,可减少调节 量、降低造价,另采用结构简单的微波产生及传输系统可大大降 低成本。 |
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