激光激振测振仪

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专利名称 激光激振测振仪 申请号 CN99251921.7 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN2397483 公开(授权)日 2000.09.20 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 陈高庭;方祖捷;王向朝;瞿荣辉;蔡海文;耿建新 主分类号 G01H9/00 IPC主分类号 G01H9/00 专利有效期 激光激振测振仪 至激光激振测振仪 法律状态 授权 说明书摘要 一种激光激振测振仪,包括产生调制激振光束的 激振光源和产生光强恒定测振光束的测振光源,光纤合波器,合 束光纤,光电探测器,光纤复用器和端面对准被测样品并具有正 弦相位调制的光纤探头。激振光束使被测样品产生振动,测振光 束射到被测样品表面反射返回的光束和光纤探头端面反射返 回的光束产生干涉,由此可同时测得振动频率和振动幅度。本实 用新型具有多功能,非接触式,小型化,一体化,稳定性好,测量精 度高的特点。

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