| 专利名称 | 一种四台阶光栅及其制备方法 | 申请号 | CN201110429610.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102495444A | 公开（授权）日 | 2012.06.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 谢常青;方磊;朱效立;李冬梅;刘明 | 主分类号 | G02B5/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/18(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种四台阶光栅及其制备方法 至一种四台阶光栅及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种四台阶光栅及其制备方法。该四台阶光栅包括：衬底，在其上表面形成有光栅凹槽；光栅台阶，由折射率不同于所述衬底折射率的透明材料构成，呈台阶状，其台阶面与衬底的上表面平齐；其下半部形成于光栅凹槽内的一侧，其上半部形成于衬底的上表面，下半部与上半部宽度相同，均等于光栅凹槽宽度的1/2。本发明四台阶光栅能够提高相位控制的精确性。 |
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