| 专利名称 | 一种基于微机电技术的硅压阻式风速风向传感器 | 申请号 | CN200710098681.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101294977 | 公开（授权）日 | 2008.10.29 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 陈德勇;赵湛 | 主分类号 | G01P5/08(2006.01)I | IPC主分类号 | G01P5/08(2006.01)I;G01P13/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基于微机电技术的硅压阻式风速风向传感器 至一种基于微机电技术的硅压阻式风速风向传感器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开一种基于微电子机械技术的硅压阻式风速风向传感 器，由绝缘衬底和四个相同旋转对称分布的风速测量单元组成，分别 检测风速在相互正交的两个方向上的分量。每个风速测量单元由电极、 机械锚点、硅压敏电阻梁、硅支撑梁以及硅悬臂梁组成。当风从表面 吹过时，悬臂梁作为感风元件，受到垂直于悬臂梁的气流的作用力而 产生形变，通过硅压敏电阻梁、硅支撑梁以及硅悬臂梁组成的微型杠 杆结构，以轴向应力的形式作用于硅压敏电阻梁上，引起硅压敏电阻 阻值的变化。检测每个风速测量单元压敏电阻的变化，可以检测风速 的大小和风速的方向，差分检测来实现二维风速和风向测量，具有制 作简单，灵敏度高和较好的抗干扰能力。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
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4、专员跟进，交易保障